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Al0.85Ga0.15As/GaAs太阳能电池器件工艺优化研究 总被引:2,自引:0,他引:2
报道了优化的p-n型Al0.85Ga0.15As/GaAs太阳能电池器件工艺。分别采用真空蒸发Cr/Au和AuGeNi/Au制作下面栅线和背面电极,并分别在450℃和350℃下快速合金化形成欧姆接触。采用NH4OH:H2O2:H3PO4:H2O体系的选择性腐蚀液去除高掺杂的GaAs接触层。采用真空蒸发技术制备ZnS/MgF2双层复合减反射层。测试结果表明,采用优化工艺制备的器件的光电转换效率得到了 相似文献
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