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针对微结构大范围无损测试问题,提出了一种低 重叠度的三维结构拼接方法。首先基于实验参数将结构特征提 取区域限制在测量过程中的重叠区域,以减少误匹配出现的可能性并提高计算效率;在上述 区域内,通过SIFT(scale-invariant feature transform)算法进行特征 点提取;在特征点匹配阶段,根据测量系统参数进一步提出缩小匹配点对搜索范围的方法以 提高特征点匹配可靠性;最后以 重叠区域的局部连续性为依据,计算校正矩阵以校正测量过程中环境扰动带来的拼接结构错 动。实验中,将本方法与目前商业设 备的拼接测量功能进行了对比。实验表明,本文方法不但适用于特征丰富的结构,也适用于 相似度高的阵列性结构,可在重叠度为6%时实现有效拼接。 相似文献
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通过白光扫描干涉术研究了用于非球面元件的大范围测量方法并利用纳米测量机(NMM)构建了测量系统。对系统的运行环境进行分析,定量给出了评定结果。在系统环境得以保证的前提下,重点研究了无重叠拼接方法,并将结果进行了对比;针对周期性非球面光学表面,提出通过白光倾斜扫描干涉法进行测量。扫描过程中,测试样品倾斜通过干涉区,消除了物镜视场的影响,使毫米量级表面一次扫描即可完成测量。针对扫描过程,分析了扫描过程中干涉条纹移出视场现象及双角度不一致对测量结果的影响。 相似文献
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采用环境友好的一步水热法,以Ge Se4玻璃为原料,水溶液为反应介质,在80℃合成三方相硒(t-Se)一维纳米结构。用透射电子显微镜(TEM)、拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等手段表征了一维Se纳米纤维的形貌和结构。结果表明,合成的Se纤维沿t-Se的[001]方向生长,截面为六边形。反应144 h后,纤维长度达到毫米级,平均直径为1~5μm。对合成的Se纤维进行纳米压痕实验,测得其硬度和弹性模量分别为(399.5±20.4)MPa和(1.13±0.05)GPa。在p H=12.0的Na OH溶液(80℃)中,Se纳米纤维生长速度高于酸性(p H=3.3)和中性(p H=6.3)介质,反应24 h后,纤维平均长度和直径达到344和1.12μm。 相似文献
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采用环境友好的一步水热法,以GeSe4玻璃为原料,水溶液为反应介质,在80℃合成三方相硒(t-Se)一维纳米结构。用透射电子显微镜(TEM)、拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等手段表征了一维Se纳米纤维的形貌和结构。结果表明,合成的Se纤维沿t-Se的[001]方向生长,截面为六边形。反应144 h后,纤维长度达到毫米级,平均直径为1~5 μm。对合成的Se纤维进行纳米压痕实验,测得其硬度和弹性模量分别为(399.5±20.4)MPa和(1.13±0.05)GPa。在pH=12.0的NaOH溶液(80℃)中,Se纳米纤维生长速度高于酸性(pH=3.3)和中性(pH=6.3)介质,反应24 h后,纤维平均长度和直径达到344和1.12 μm。 相似文献
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