提高角加速度传感器环境适应性的研究

为了提高液环式角加速度传感器的环境适应性,本文对器件的结构和制作工艺进行了研究,获得影响器件环境适应性的三大因素,分别是玻璃毛细管的直径、敏感组件内的压强、以及软胶的涂覆方法。通过选取合适的毛细管的直径、敏感组件内的压强,以及正确的软胶涂覆方法,制作的器件在28.5g、5000Hz、低温-45℃随机振动中,输出信号正常率达到90%以上。