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沈育志  马宏 《半导体光电》1997,18(2):138-141
介绍了一种应用光学投影放大和光栅尺莫尔条纹测长技术的数字显示式光学投影仪,使用此仪器可对直径50mm、长度500mm以内的呼种复杂的轴类或丝杆类零件,进行非接触测量。仪器不但可以检测零件的局部形状误差,而且还可以测量零件的径向尺寸和轴向尺寸,其测量误差均小于±0.01mm。  相似文献   
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