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本文介绍一种高温热氧化工艺的统计模拟方法,并在此基础上对一种具体氧化工艺进行了计算和分析,指出了合理选择工艺参数的途径,对小尺寸集成电路器件的制造具有一定实际意义。 相似文献
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