带电粒子束的自动聚焦技术

现代聚焦电子束、聚焦离子束装置大都采用自动聚焦、自动消象散技术，本文对目前常用的几种自动聚焦、自动消象散技术加以总结，介绍了其原理及实现方法。     

亚微米聚焦离子束系统的合轴技术及聚焦检测技术

本文介绍了二级透镜亚微米聚焦离子束系统中的合轴技术和聚焦检测技术，包括合轴的调整及其检测技术的原理和具体方法、离子束聚焦状态的跟踪检测技术，利用此技术可以快速准确地获得微细离子束。     

荫罩式彩显管电子束斑测量技术的研究

本文提出了实时地,真实地再现荫罩式彩显管电子束斑的原理和方法;描述了系统的硬件组成;微偏转系统的要求和设计原则;