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1.
牙冠表面三维光学测量和重建方法   总被引:4,自引:1,他引:3  
高勃  王建  王忠义  殷功杰  袁艳  刘波  胡敏 《光子学报》2000,29(6):554-558
选取光栅变形条纹直接分析方法,采用自制的牙冠表面形状三维测量仪和精密可调转台获得了上颌中切牙和下颌磨牙牙冠各个面的三维测量数据,将各面数据在UniGraphic软件平台上通过旋转坐标拍的方法实现数据拼合,重建了牙冠表面的三维形态,生成了牙冠实体模型。  相似文献   
2.
小角衍射法精确测定Mo/Si软X射线多层膜的结构   总被引:6,自引:0,他引:6  
殷功杰  范正修  邵建达 《中国激光》1993,20(12):900-905
通过对周期性Mo/Si多层膜Cu靶K_(?)线小角衍射曲线的分析,并进一步采用对局部曲线进行分步数值拟合的方法,确定了多层膜的结构参数及界面质量。估算了多层膜样品在λ=20nm附近的正入射反射率接近10%。  相似文献   
3.
利用带折射修正的布喇格衍射定律和薄膜光学理论分析了低角X射线衍射谱中出现的一系列现象,导出了多层膜周期厚度和周期中不同材料间的配比率的计算公式,对多层膜的低角X射线衍射谱中主峰间的次峰现象作出了解释,并对低角X射线衍射测量单层膜厚度进行分析,给出了精确的测厚公式。  相似文献   
4.
利用自适应阈值条纹调制度分析方法进行位相去包裹研究   总被引:5,自引:1,他引:4  
提出了一种基于条纹调制度分析的位相去包裹新算法。该算法用于三维测量中位相图的去包裹处理,取得了好的实验结果。它同样适用于激光干涉条纹的处理。  相似文献   
5.
小尺寸物体三维面形高精度测量   总被引:3,自引:1,他引:2  
殷功杰  朱传贵 《光子学报》1997,26(9):841-845
采用变形光栅条纹囹样直接分析的方法对小尺寸物体面形实现高精度测量.研制了一台小型的三维表面轮廓测试仪,测量范围(30×30)mm2,精度20μm,初步用于人类牙齿表面三维测量.最后提出了存在的问题和改进方向.  相似文献   
6.
W/C超薄多层膜的制备及其结构与光学特性分析   总被引:5,自引:0,他引:5       下载免费PDF全文
邵建达  范正修  殷功杰  易葵  袁利祥 《物理学报》1994,43(12):2015-2022
利用平面磁控溅射技术,制备了W/C超薄多层膜样品。低角X射线衍射测试、透射电子显微镜显微剖面分析给出了该样品的结构参数,由这些结构参数模拟给出的光学特性与实测的4.47nm的绝对反射率角谱有较一致的表现。 关键词:  相似文献   
7.
简要叙述软x射线多层膜位相光栅的理论设计、实验制备,详细给出了在北京同步辐射装置3B1束线上对多层膜位相光栅衍射效率的测试,以及对测试结果的分析,并与理论值进行了比较. 关键词:  相似文献   
8.
应用微分电磁理论研究软X光衍射光栅   总被引:1,自引:0,他引:1  
微分法是软X光波段唯一精确计算衍射光栅效率的电磁理论。应用这种理论成功地设计出带有位相光栅的软互光激光反射输出镜,计算出可能的实验误差。对微分理论的数值结果和精度进行了分析和讨论。  相似文献   
9.
软X射线衍射色散元件袁利祥,范正修,殷功杰(中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800)崔明启(中国科学院高能物理研究所,北京100039)沈孝良(复旦大学分析测试中心,上海200433)纳米量级的多层膜沉积技术和微电子制作技术的结合已使软x...  相似文献   
10.
二元光学衍射透镜波象差分析   总被引:1,自引:1,他引:0  
通过对衍射透镜一级衍射象的波象差分析,由比较系数方法导出其赛得和数.  相似文献   
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