外腔半导体激光器大尺寸无导轨测长研究

利用平面镜外腔半导体激光器和连续调频波技术,进行了大尺寸无导轨测长研究。给出了10m测量范围内的实验结果。     

超精加工表面粗糙度的激光测量仪

研制出一种超精加工表面粗糙度的激光测量仪，采用光外差测量原理和共光路干涉仪结构，具有很强的抗外界振动干扰能力．仪器结构简单，测量灵敏度高，纵向分辨率达０．４ｎｍ，横向分辨率达１．７２μｍ。     

半导体激光器外腔长连续调频特性的研究

研究了半导体激光器的外腔长连续调频特性，在外腔长λ／２变化范围内，激光频率与外腔长度呈线性变化关系，线性连续调频宽度小于外腔纵模频率间隔。外腔长调频率与激光管本征频率成正比，与外腔长度成反比。实验测量结果与理论分析相一致。     

在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪

一种新型的、用于在线测量表面粗糙度的激光外差干涉仪已研制完成。该仪器体积小（２５ｃｍ×２０ｃｍ×１０ｃｍ）、抗外界环境干扰能力强。仪器以稳频半导体激光器作为光源。共光路设计,使测量光和参考光沿同一路径入射到被测表面上。计大数和测小数周期相结合的外差信号处理方法,实现了大的动态测量范围和很高的测量分辩率。同时还采用了全反射临界角法进行自动聚焦。该仪器的纵向和横向分辨率分别为０．３９ｎｍ和０．７３μｍ;自动聚焦范围为±０．５ｍｍ,在焦点±２５μｍ范围内,聚焦精度为１μｍ;８０分钟内整机稳定性：３σ＝１．９５ｎｍ。     

外部压缩半导体激光器光谱线宽的发展现状

本文系统地归纳了从外部压缩半导体激光器光谱线宽的各种方法,介绍了这一研究领域近年来的发展状况。     

电调频半导体激光绝对测量干涉仪

分析了电调频半导体激光干涉仪的长度绝对测量原理,介绍了干涉仪的基本结构。实验结果表明,该干涉仪的绝对测量范围为0.3～1.5m,测量误差为0.1～0.3mm。