一种新的显影液干膜负载量监控方法

文章通过在实验室试验显影液中干膜负载量与显影液浓度、pH值的相关性,运用Minitab工具确定显影液干膜负载量与pH值的线性关系,同时根据供应商提供的干膜显影负载量上限值,计算出相应的显影液pH值参数范围。当显影液pH降低至要求范围下限值时,表示显影液中干膜负载量已经达到要求上限,显影液需及时更换处理,故可通过pH值变化来监控显影液中干膜的负载量。     

定位孔缘破孔的研究

主要介绍孔缘破孔(在碱性蚀刻流程中发生的干膜流胶入孔致孔中开路)的影响因素。对定位孔缘破孔的形成机理进行分析及试验模拟,得出定位孔缘破孔的原因为:特殊结构特征板件在贴膜后板件板面局部温度较高,在没有散热完全情况下被收板放置在一起,导致定位区域干膜继续流胶入孔。通过提高贴膜后板件散热效果,最终杜绝定位孔缘破孔的产生。     

实验室试验镀锡溶液组分对镀锡性能的影响

文章通过在实验室采用赫氏槽试验，考察硫酸体系镀锡溶液各组分对镀锡性能的影响，以筛选镀锡性能主要影响因子和较佳的组分平衡关系。     

干膜掩孔破裂影响因子试验分析

文章通过试验图形转移制程各工艺参数设置对干膜掩孔破裂的影响,并根据试验结果调整相应的工艺参数控制,保证掩孔干膜完好性。