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一、引言随着光纤通讯和集成光学的飞速发展,GaAs—Ga_(1-x)Al_xAs液相外延技术也得到了很大的进展,并成功地研制出了寿命六百万小时的半导体激光器及种类繁多的集成光学器件。在液相外延的过程中,首先展现在人们面前的是外延片表面生长的情况,光滑平整的表面形貌不仅增加了外延片的美观,给制管工艺〈诸如光刻、扩散、掩膜、蒸发等〉带来了很大方便,而且生长层表面的好坏也直接反映着外延片内部的生长情况。一般说来,表面形貌好的外延片内部生长也好,反之,表面形貌生长不好的,外延片内部生长也不好。判断表面生长情况好坏可以直接观察其表面有无析出物,生长台 相似文献
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