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本文简要介绍了离子注入和器件的关系,概述了离子注入机的发展现状和趋势,初步探讨了我国离子注入机不能形成产业的原因。  相似文献   
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本文概述了微电子器件对离子注入机的需求,介绍了国外离子注入机发展现状和发展趋势。  相似文献   
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