电子束直写技术制作GHz频带声表面波器件

电子束具有刻写微细图形尺寸的能力，容易实现亚微米宽格栅的声表面波器件制造，因此可达到器件的高频化和在设计上更具灵活性。该文介绍了器件图形的数据处理策略，基片的制备和工艺过程。描述了在电子束曝光过程中采取的一些独特方法，生产了性能良好的吉赫兹频带滤波器、谐振器和延迟线等声表面波器件。     

化学放大胶在电子束光刻技术中的应用

化学放大胶(ChemicallyAmplifiedResists,简称CARs)是下一代光刻技术中极具发展潜力的一种光学记录介质。介绍了化学放大胶在电子束光刻技术中图形制作工艺的关键步骤以及目前常用的几种化学放大胶,分析了将化学放大胶用于电子束曝光工艺应注意的问题和它将来的发展趋势。     

压电陶瓷管非线性校正

提出了一种简单、实效的压电陶瓷管非线性校正法。首先用迈克尔逊干涉仪分别测定压电陶瓷管的X向和Y向非线性曲线，然后求非线性曲线的拟合函数及其反函数，最后依此反函数通过设计原子显微镜（AFM）扫描程序给压电陶瓷管X、Y向施加非等差距的电压来产生线性位移。实验证明，此法能够有效地消除由压电陶瓷管的非线性引起的扫描图像畸变，从而有利于获得物体表面实貌的真实扫描图像。