ECL 1024字×1位随机有储器

研制成功的 ECL 1024字 ×1位随机存储器的地址取数时间为 20ns、功耗 500mW、芯片面积 11.4mm~2.它是高速电子计算机不可缺少的关键性器件.采用 4μm设计原则以及薄外延层、浅结、漂发射区和双层金属有线等工艺。本文报道了设计、工艺以及性能特点.     

2μm高速双极工艺的研究

本文报导了２μｍ高性能单层多晶硅双极器件及工艺。为了改善器件性能，对基础工艺的改进和完善作了试验，如减少外延自掺杂及缺陷；改善ＥＣ漏电；降低发射极串联电阻等。并列出了典型的工艺参数及器件参数。用本工艺得到环振门延迟为２５０～５００ｐｓ，有的可达２００ｐｓ。     

ECL1024字×1位随机有储器

研制成功的 ECL 1024字 ×1位随机存储器的地址取数时间为 20ns、功耗 500mW、芯片面积 11.4mm~2.它是高速电子计算机不可缺少的关键性器件.采用 4μm设计原则以及薄外延层、浅结、漂发射区和双层金属有线等工艺。本文报道了设计、工艺以及性能特点.     

高速ECL256字×1位随机存储器

高速 ECL 256字×1位随机存储器是在改进设计以及采用漂发射区、双层金属布线等工艺基础上得到的.地址取数时间典型值为12毫微秒,读写周期为22 毫微秒,功耗500毫瓦,可靠性高、这个器件能在环境温度-55-+150℃以及电源电压-3.5—-7.0伏范围内正常工作. 本文介绍了在线路和版图设计以及制造工艺方面的特点.     

多参量一体化光纤传感器及标校系统的研制与开发

提出一种集温度、压力和流量多参数同时测量的新型光纤传感器,并对其原理和结构、工艺设计展开研究工作。采用靶式与悬臂梁结构相结合的机敏结构、薄壁压力应变筒结构等集成在同一传感器探头上,并利用四只光纤光栅使得温度、压力和流量三个参数得以同时检测。利用光纤光栅两两之间波长移动量相差或相和,使温度与流量、压力交叉敏感问题得以解决。同时开发了光纤传感器标校系统,这一系统可以较准确实现对所研发的多参量一体化传感器的测试结果进行检测和标校。