基于环形谐振器的平衡式带通滤波器

提出了一种基于多模环形谐振器实现的平衡式带通滤波器, 其主要由加载了电阻和短路枝节的环形谐振器和两对平衡端口构成.所提出的滤波器能够以单个谐振器获得差模的双模响应, 并且具有结构简单, 共模抑制高, 带宽可进行有限控制(4% ~ 9%)的优点.为验证理论预期的可实现性, 在RO4003C基板上设计了一个工作在1.87 GHz的平衡式带通滤波器.实验结果表明该滤波器的20-dB阻抗匹配带宽为8.9%, 中心频率处的插入损耗为0.86 dB, 在1 ~ 3 GHz频率范围内的共模抑制大于30 dB.     

硼磷硅玻璃在集成电路中的应用

磷硅玻璃（Boro-phosphosilicme Glass，BPSG），即掺杂了硼和磷的二氧化硅作为第一层金属前介电质（PMD）以及金属层间介电质（IMD）在IC制造中有着广泛的也用。二氧化硅原有的有序网络结构由于硼磷杂喷（B2O3，P2O5）的加入而变得疏松，在高温条件下某种程度上具有像液体一样的流动能力（Reflow）。因此BPSG薄膜具有卓越的填孔能力，并且能够提高整个硅片表面的平坦化，从而为光刻及后道工艺提供更大的工艺范围。