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Ti-B-N超硬薄膜结构的能量过滤电子衍射分析王永瑞李戈杨*王公耀*王纪文
李鹏兴*(上海交通大学材料科学系,*金属基复合材料国家重点实验室,上海200030)超硬膜是指硬度远高于钢铁且牢固地镀在工模具上能明显地提高耐磨性的膜,如TiN、TiC、c-B...
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2.
纳米多层膜由两种材料按一定的调制周期交替叠加形成。在许多纳米多层膜体系中,当调制周期减小到若干纳米时,将产生物理性能或力学性能的异常变化,这种性能异常的产生不仅取决于组成多层膜的两种材料的性质,更取决于多层膜的调制层,尤其是调制界面的微结构。本文采用...
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3.
本文采用双靶交替磁控溅射方法制备了W/SiC纳米多层膜,并用高分辨电镜对多层膜截面形貌及界面微结构进行了分析,结果表明:W/SiC纳米多层膜具有良好的调制结构,其中W为多晶,SiC为非晶,且W晶粒垂直于膜面的方向上的长大受到调制周期的限制,W与SiC形成完全非共格界面,该界面具有宏观平直微观粗糙的特点,在界面上存在一个模糊的过渡层,该过渡层由W与SiC的成份混合区和W的结构过渡区构成。
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4.
纳米多层膜具有多种物理性能和力学性能的异常效应,其中超模量、超硬度效应为近年来的研究热点之一。本文采用高分辨透射电子显微镜(HREM)研究了TiN/AlN纳米多层膜的微结构并对其力学性能的变化给予解释。TiN/AlN纳米多层膜采用反应溅射法在日本产A...
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