特征提取在近红外激光检测半导体内微缺陷中的应用

提出了利用近红外激光散射光强分布分析来检测半导体材料内部微体缺陷的检测方法。在研究广义洛仑兹－米氏理论（Generalized Lorenz-Mie Theory）的基础上，通过对理论上散射光强分布的分析，近红外激光散射光强分布空间FFT的截止频率被提取为判定半导体材料缺陷大小的判缺，依据这一判据，可以快速的判定微体缺陷的大小。并通过对GaAs样品进行了实验研究，证明了该方法和判据的有效性。     

MEMS器件中的微体缺陷检测研究

为实现对硅基材料和MEMS器件内微体缺陷的无损、高效和准确检测，在研究广义洛仑兹-米氏散射理论的基础上，针对硅基材料和MEMS器件的物理特点，对球形缺陷与红外激光相互作用在非垂直方向散射光强分布特点进行了研究和计算机仿真，提出利用红外激光背散射分布分析对硅基材料和MEMS器件内部缺陷进行检测的方法，并通过实验验证了该方法的有效性。     

基于空间二进制编码的3 D形貌测量方法

介绍了一种基于空间二进制编码的非接触３ Ｄ 形貌测量方法。它用一台ＬＣＤ 投影仪对被测物体表面进行空间编码,再用一台ＣＣＤ 摄像机获取物体编码信息,最后用三角法原理从摄像机图像中获取三维形貌数据。提出了基于三角法的空间二进制码的重要特性,描述了高效编码的构造方法。用这个构造方法构造出一个完全数字化的７ 位字长的二进制编码。基于这种编码的３ Ｄ 形貌测量方法在被测物体表面非常不连续和非构造的环境下取得了良好的测量结果。     

基于空间二进制编码的3-D形貌测量方法

介绍了一种基于空间二进制编码的非接触3-D形貌测量方法.它用一台LCD投影仪对被测物体表面进行空间编码,再用一台CCD摄像机获取物体编码信息,最后用三角法原理从摄像机图像中获取三维形貌数据.提出了基于三角法的空间二进制码的重要特性,描述了高效编码的构造方法.用这个构造方法构造出一个完全数字化的7位字长的二进制编码.基于这种编码的3-D形貌测量方法在被测物体表面非常不连续和非构造的环境下取得了良好的测量结果.