应用于MEMS的单晶硅上无电镀铜、镀镍工艺

开发了单晶硅上的选择性无电镀铜、镀镍工艺，形成了较为优化的施镀流程，实现了保形性、均镀性较好的铜、镍及其复合镀层．其中针对单晶硅表面的特点，采取了浓酸处理和氧等离子轰击两种表面预处理方法，优化了氯化钯对表面的激活时间，使得镀层质量得到提高．提出了以镍作为中间层以减小镀层应力的方法，施镀后获得的铜镀层的电阻率为2.1μΩ·cm，铜/镍复合镀层的方块电阻为0.19Ω/□．在单晶硅MEMS电感结构上实现了较好的无电镀铜，使得该元件的品质因数超过25．     

激光在非晶硅薄膜太阳能电池制造中的应用

人类进入21世纪,能源问题更为突出,常规能源的匮乏不足,面临在有限资源和环保严格要求的双重制约下实现经济和社会可持续发展已成为全球热点问题。传统的石油、煤等化石能源的开发利用,在一定程度上带来了环境污染、温室效应     

掺钕钆镓石榴石激光陶瓷粉体的研究

优质的纳米前驱体是生成良好透明陶瓷的关键。采用Sol-gel法制得颗粒均匀、粒度小、无团聚、分散性好的Nd:GGG激光陶瓷前驱粉体。对透明陶瓷前驱体进行测试XRD分析,与标准JCPDS卡片对比表明样品属于立方晶系,空间群Ia3d,晶格常数为:A=123.7nm。粉体的最佳烧成温度为1000℃,煅烧时间8h。SEM观察发现,样品纯度高、单分散、颗粒均匀且近似球形,符合制备透明陶瓷的粉体要求。     

应用于MEMS的单晶硅上无电镀铜、镀镍工艺

开发了单晶硅上的选择性无电镀铜、镀镍工艺,形成了较为优化的施镀流程,实现了保形性、均镀性较好的铜、镍及其复合镀层.其中针对单晶硅表面的特点,采取了浓酸处理和氧等离子轰击两种表面预处理方法,优化了氯化钯对表面的激活时间,使得镀层质量得到提高.提出了以镍作为中间层以减小镀层应力的方法,施镀后获得的铜镀层的电阻率为2.1μΩ·cm,铜/镍复合镀层的方块电阻为0.19Ω/□.在单晶硅MEMS电感结构上实现了较好的无电镀铜,使得该元件的品质因数超过25.     

亚像元动态成像技术中系统的调制传递函数

亚像元动态成像技术是国际上目前实现遥感器小型化非常有效的新方法，因而研究亚像元动态成像系统的调制传递函数（MTF）显得非常必要和重要。本文分析亚像元动态成像系统的MTF模型，并给出亚像元动态成像系统MTF的数学表达式。     

有理单变元表示在优化问题上的应用

利用零维多项式系统的有理单变元表示,给出了求多项式在有限点集上的正性判定算法.同时,结合不等式证明,呈现了目标函数在零维系统约束下最优化的一个纯代数算法,从而将多元函数约束优化问题转化为单变元函数在单变元多项式约束下的优化问题.新算法不仅能处理目标函数为多项式的最优化问题,而且还能处理目标函数为有理分式函数和根式函数的的最优化问题,并且给出了目标函数最优值的精确区间表示,使得能任意精度地逼近最优值.     

基于ZigBee技术的无线温度测量系统设计

针对有线测量系统的布线纷繁复杂,系统容易老化,成本高,灵活性差,不具有可移动性的缺点进行了基于CC2480 IEEE 802.15.4/ZigBee片上解决方案和DS18B20数字温度传感器的无线温度测量系统的设计。系统能够实现采集待测对象内任意点处的温度值,并能向用户端显示所采集到的温度值。该系统方便架设,易于使用和...     

军工科研院所主数据管理系统设计与开发

为解决跨信息系统的数据不一致性问题,帮助军工科研院所运用现代信息技术实现业务流程优化,该文介绍了主数据管理系统的建设必要性,基于分层的思想构建了主数据管理系统的五层架构及功能模块。重点研究了主数据管理系统中数据集成管理功能的可配置组件设计,并提出一种灵活、简洁的数据交换XML格式规范。基于数据集成管理功能进行设计,结合军工科研院所ERP系统的业务需求提出了一套个性化的独立接口集成设计方案。实践表明,主数据管理系统显著提高了数据质量及数据流通效率,为军工科研院所数字化转型提供了参考。     

超高效液相色谱-串联质谱法测定环境水体/污泥中5种痕量雌激素

对固相萃取条件、加速溶剂萃取条件进行了优化,采用内标法结合超高效液相色谱-串联三重四极杆质谱仪进行测定,建立了环境水样、污泥中5种典型雌激素的测定方法。在最佳条件下,水样中5种雌激素的检出限为0.8 ng/L(除E3的检出限为1 ng/L),线性范围为3～1000 ng/L,相关系数在0.9566～0.9999之间;污泥样品中5种雌激素的检出限为0.5 ng/g(除E3的检出限为0.8 ng/g),线性范围为2.5～500 ng/g,相关系数在0.9224～0.9999之间。方法用于实际环境水样、泥样中痕量雌激素的测定。     

零电压换流条件分析与设计

研究移相控制全桥零电压开关脉宽调制变换器(FB-ZVS-PWM)的换流过程。针对其滞后桥臂负载电感偏小给零电压导通造成困难的特点，文中放弃了负载电流为恒流源的假设，推导了描述其换流过程的方程。基于这些方程，研究了实现软开关的条件，并用仿真和实验结果验证了该方程的正确性。文中还用一设计实例来说明了这些等式的应用。