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微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法产生的等离子体密度高,材料外延生长过程可控性好且洁净度高,是制备高质量金刚石膜的重要方法.基于谐振腔理论和三维全波电磁场仿真,对MPCVD设备微波系统中谐振腔、模式转换器、样品托等影响微波传输效率及电场分布形态的部件进行设计和优化,并通过对微波传输系统关键参量的测试和监控,研究系统调试变量对金刚石外延生长的影响.基于自研的MPCVD设备,实现较高品质金刚石膜的合成,金刚石有效生长区域为?50 mm圆面,外延生长速度10~25μm/h,单晶样品的表征结果显示合成的金刚石透光率接近理论值,材料的结晶程度良好,氮、硅等杂质含量较低. 相似文献
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超声马达模糊控制系统的理论研究 总被引:5,自引:3,他引:5
设计了一种新颖的线性双向式超声马达,介绍了典型的超声马达的驱动控制方法,提出了基于模糊控制理论的超声马达的过程调节方法,分析了模糊控制器的结构和原理,给出了模糊控制器的设计方法,最后指出了超声马达模糊控制过程调节系统的发展趋势。 相似文献
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