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1
1.
微纳米加工技术在纳米物理与器件研究中的应用
总被引:1,自引:0,他引:1
顾长志
罗强
杨海方
金爱子
李俊杰
王宗利
王强
徐鹏
全保刚
岳双林
黄阳
时成瑛
《物理》
2006,35(1):40-46
物质在纳米尺度下可能呈现出与体材料不同的物理特件,这正是纳米科技发展的基础之一。要想探索在纳米尺度下材料物埋性质的变化规律及可能的应用领域,离不开相应的技术手段,微纳米加工技术作为当今高技术发展的重要技术领域之一,是实现功能人工纳米结构与器件微纳米化的基础。本文根据几个不同的应用领域,介绍了微纳米加工技术在纳米物理与器件研究领域的应用。
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