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介绍了一种压电型微悬臂梁的制作工艺流程,重点研究了其中硅的反应离子刻蚀(RIE)工艺,分析了工艺参数对刻蚀速率、均匀性和选择比的影响,提出通过适当调整气体流量、射频功率和工作气压,以加快刻蚀速率,改善均匀性,提高选择比。研究表明,在SF6流量为20 mL/min,射频功率为20 W,工作气压为8.00 Pa的工艺条件下,硅刻蚀速率可以提高到401 nm/min,75 mm(3 in.)基片范围内的均匀性为±3.85%,硅和光刻胶的刻蚀选择比达到7.80。为制备压电悬臂梁或其它含功能薄膜的微结构提供了良好的参考。 相似文献
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超声波与光协同降解对氯苯酚水溶液的机理研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为阐明超声波与光协同作用机理,以对氯苯酚为研究对象,研究了对氯苯酚水溶液在超声波与光(紫外光,可见光)单独及共同辐照下的降解现象,研究发现对氯苯酚水溶液在超声波及紫外光单独辐照下均发牛降解,降解过程符合一级反应动力学规律.在超声波和紫外光共同辐照下,降解过程也符合一级反应动力学规律,同时对氯苯酚水溶液降解呈现显著的声光协同效应,即同一辐照时间内超声波和紫外光共同辐照下对氯苯酚的降解率大于超声波和紫外光单独辐照下各自降解率之和.另一方面,超声波和可见光共同辐照没有呈现出明显的卢光协同效应.超声波和紫外光共同辐照下的声光协同效应被归因于紫外光对超声空化过程中产生的过氧化氢的裂解作用. 相似文献
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超声波和紫外光协同降解酸性橙Ⅱ水溶液的机理研究 总被引:6,自引:0,他引:6
以含有多个苯环的典型偶氮染料-酸性橙Ⅱ为研究对象,研究了超声波和紫外光分别辐照及共同辐照下的降解现象。酸性橙Ⅱ水溶液在超声波及紫外光分别辐照下均发生显著降解,反应过程符合准一级反应动力学规律。在超声波和紫外光共同辐照下,反应过程也符合准一级反应动力学规律,同时酸性橙Ⅱ水溶液降解呈现显著的声光协同效应,即同一辐照时间内超声波和紫外光共同辐照下酸性橙Ⅱ的降解率大于超声波和紫外光单独辐照下各自降解率之和。动力学分析结果表明,该协同效应可归因于紫外光对超声空化过程中产生的过氧化氢的裂解作用。 相似文献
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