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1.
硅单晶衬底制备时晶体取向的控制与器件和电路制造中外延工艺的关系
徐守淞
郭一平
陈郁文
《半导体技术》
1980,(4)
一九六四年已发现集成电路外延工艺受晶向影响,并在一九六八年此问题即园满解决.我们在十五年后碰到了同样的问题.据了解,很多搞电路的厂家还没有解决或还没有彻底解决,因而在生产上造成很大的浪费.研究一下定向切割对外延工艺的影响,这在经济上还是很有意义的.
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