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一九六四年已发现集成电路外延工艺受晶向影响,并在一九六八年此问题即园满解决.我们在十五年后碰到了同样的问题.据了解,很多搞电路的厂家还没有解决或还没有彻底解决,因而在生产上造成很大的浪费.研究一下定向切割对外延工艺的影响,这在经济上还是很有意义的.  相似文献   
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