2.5Gb/sGaAs激光器高速驱动电路

研制出一种实用化的ＧａＡｓ激光器高速驱动电路,该电路采用源耦合场效应管逻辑电路形式,０．８μｍ栅工艺,全离子注入平面工艺,单电源（－５．２Ｖ）供电。并给出了研究结果：最大驱动电流可达４５ｍＡ,数据传输速率２．５Ｇｂ／ｓ。     

GaAs超高速门阵列集成电路Se离子注入技术研究

采用室温下Ｓｅ＾＋离子注入半绝缘ＧａＡｓ衬底，通过优化注入能量，剂量，注入角度及快速热退火温度，时间，获得了高剂量下杂质激活率大于７４％，注入层平均载流子浓度为（５－６）×１０＾１６－ｃｍ＾－２，平均载流子迁移率为３０１０ｃｍ＾２／ｖ．ｓ，载流子浓度分布陡峭的优质离子注入薄层，成功地研制出３０００门ＧａＡｓ超高速门阵列集成电路。