几种快速分析电迁移失效的新技术

介绍几种快速分析金属膜电迁移失效的新技术：(1)利用晶粒大小分布璜示电迁移性能：(2)用电阻比法作为金属薄膜的监控器：(3)利用噪声测量预示电迁移的可靠性：(4)用内摩擦法分析电迁移失效．     

铝硅铜合金和铝铜合金多层结构的电迁移行为

本文给出了由同一工艺线上加工的铝硅和铝硅铜金属互连线的电迁移加速寿命试验结果，后者寿命比前者要高一个数量级，我们对此作了简要的说明，并介绍了铝铜多层结构互连的的民迁移性能。