薄膜表面直接四光束激光干涉制备复眼的研究

基于四光束激光干涉光刻技术,在薄膜表面实现 了四光束激光直接干涉光刻制备微纳复眼结 构,为激光干涉 光刻研究提供了一个新的应用方向。对于多层复合薄膜,激光干涉光刻的效果与薄膜的透光 率相关, 即在一定范围内,透光率影响光刻结构的形成。在保持四光束激光干涉光刻系统波长和 入射角度不变 的条件下,通过改变能量得到不同尺寸的周期性孔阵结构,与复眼结构一致,发现透光率分 别为5%、30%和75%的薄膜在20～30mJ曝光时均可形成清晰的周期复眼 结构,且在25mJ时最为明显。在700～1200nm 波段使用反射率测试系统对光刻前后透光 率为5%、30%和75%的薄膜进行了反射率测试,测试结果表明经光刻后形成的结构反射率普遍 降低,可以在薄膜表面实现减反特性。     

高负荷扩压叶栅非对称附面层抽吸数值研究

本文研究了某大折转角扩压叶栅单侧端壁开孔抽吸附面层对该叶栅气动性能的影响,数值方法经过了实验校核,抽吸位置位于靠近吸力面的端壁处,沿着叶栅的弦长方向共划分了四个抽吸方案,计算域包括下空腔。研究结果表明:在角区分离点处进行端壁附面层抽吸能够明显地改善抽吸侧角区的流动情况,达到推迟分离和降低损失的效果,但对未抽吸侧角区有不利影响,具体表现为分离提前、角区范围增大。     

提高盒形件拉深质量探讨

盒形件拉深经常出现法兰、侧壁和球底皱纹,侧壁回弹、凹陷、叉口、底部鼓起、凹瘪等弊病,影响零件表面质量和配合尺寸精度。因此,很有必要进行探讨研究,以提高盒形件拉深质量。