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为实现铜互连阻挡层化学机械抛光的高平坦化,研究了阻挡层抛光液中表面活性剂的作用。在抛光液中分别添加非离子型表面活性剂异辛醇聚氧乙烯醚(JFC-E)、本课题组研发的Ⅱ型活性剂以及复合表面活性剂,研究其对阻挡层CMP中铜和正硅酸乙酯(TEOS)去除速率及一致性的影响。实验结果表明,表面活性剂不仅可以改善Cu和TEOS的去除速率一致性和晶圆全局一致性,还可以降低铜表面的粗糙度,通过复配两种不同的表面活性剂,可以提高Cu和TEOS的去除速率,使Cu和TEOS的剩余厚度片内非均匀性(WIWNU)分别降低至1.39%和1.38%,铜表面粗糙度从5.25 nm降至1.51 nm。基于实验结果,研究并提出了表面活性剂影响抛光液润湿性,从而改善片内非均匀性和铜表面质量的机理。 相似文献
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红外图像可在低照度、恶劣天气等条件下工作,红外车辆检测技术旨在使用红外传感器来监测道路上的车辆,实现对车辆数量、车速等信息的收集与分析,该技术不仅可应用于路面车辆,还可应用于铁路、机场、港口等场景,为交通运输行业的安全和便捷提供了有效的技术支持。然而,由于红外图像成像原理的局限和外部环境的干扰,通常导致红外图像成像质量不理想,红外车辆检测仍然存在许多问题。文中提出了一种改进的YOLOv5模型,在YOLOv5的主干部分引入了混合注意力机制,使模型能够更好地关注研究者感兴趣的区域,抑制图像噪声的干扰。此外,在BiFPN基础上提出了一种改进的Z-BiFPN特征融合结构,融合更多的浅层信息,提高浅层信息利用率,并增加一个四分之一下采样的小目标检测层,同时将YOLOv5的检测头替换为解耦头来提升模型的检测能力。在自建的七类红外车辆数据集INFrared-417上进行了实验,验证了算法的有效可行性。与原始YOLOv5相比,m AP从81.1%提升到了85.3%。 相似文献
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半导体微腔中腔模和激子模耦合形成腔极化激元,三维微腔中由于横向限定腔模和激子模形成离散化的本征模式.本文计算了远离截止近似下,三维半导体微腔中空腔腔模的能量与微腔半径的关系;及腔模和激子模耦合后,三维半导体柱型微腔中具有相同角量子数和径向量子数的两个低阶腔模、重空穴激子模、轻空穴激子模耦合形成的腔极化激元能量随微腔半径变化的情况.结果表明随着微腔半径的减小腔模能量蓝移,腔模与相应的重空穴激子模、轻空穴激子模耦合形成的腔极化激元的三支随着微腔半径的减小存在明显的反交叉行为.随着微腔半径的变化,极化激元的三支所体现的模 相似文献
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Considering that the coupling among the heavy-hole exciton,light-hole exciton and the cavity photon can form bipolaritons in a quantum semiconductor microcavity,we calculate the group velocities of the cavity polaritons at different incident angles using the coupling model of three harmonic oscillators.The result indicates that the group velocities of the low and middle branches of the cavity polaritons have extrema,but the group velocities of the high branch increase with the increasing incident angle. 相似文献
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本文简单介绍了《半导体激光器原理》课的内容,指出了与激光物理课的不同点,强调了在工作物质的选择,结构等方面的特殊性。在讲课中要对 相似文献
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激光焊接技术广泛应用于光电子封装领域,它能形成很强的结合力,显示出无可比拟的优越性.但激光脉冲形状设置仍存在一定缺陷.研究了用于CATV的DFB激光器同轴封装激光焊接技术,利用Nd:YAG激光焊接系统,在两种不同的激光脉冲形式下,对DFB激光器和光纤进行焊接,分析了焊点宽度、深度与激光脉冲的关系.通过推力实验,测得DFB激光器输出先功率的变化大小,验证焊点质量,得出实际生产中脉宽为5 ms和2 ms、电压为310 V和360 V的激光脉冲,从而提高了焊接质量和工艺水平. 相似文献