基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研究进展

微型气相色谱柱是基于MEMS技术的微型分析化学器件,主要用于混合化学组分的分离,采用MEMS技术制作的微 型气相色谱柱在体积上得到了极大的缩小,便于集成到便携式设备中,其次,微型器件带来更小的热容量,因而能在更小的功 耗下获得更快的升温速率,从而加快了分析速度,进而改进了器件的整体性能.针对MEMS微型气相色谱柱的研究...