带多个阻抗匹配网络的rf电源

本文主要阐述了研制SPD—500D型rf电源的设计思想、电气原理及其在工业、科研中的应用。     

烘干/烧结设备传动系统设计

传动系统是烘干/烧结设备中传输工件的关键机构,是维持设备连续正常运转、确保工艺效果的重要保障。根据项目的需要,借鉴了以往开发经验,设计开发出一种烘干/烧结炉的传动系统,各项指标均达到了技术及工艺要求,运行平稳。介绍了该系统的设计、结构组成及性能特点。     

用于金刚石薄膜低压气相合成的ECR—PECVD装置

低压气相合成金刚石薄膜是目前的热门课题。本文介绍用于金刚石薄膜生长而开发的ECR—PECVD装置的工作原理、基本构成、结构特点及其主要技术指标。     

磁约束微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜

采用国内研制的电子回旋共振化学气相沉积(ECRCVD)设备,在单晶硅衬底上沉积了金刚石薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和激光拉曼谱仪(RAM)的测试,证明所沉积的薄膜具有明确的金刚石特征。所采用的ECRCVD设备,具有低压沉积、大面积均匀和低温生长的优点。这种方法在合成金刚石光学膜、半导体膜以及其它薄膜方面,很有发展潜力。