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为了保持半导体工业２５％～３０％的年增长率，必须大大提高设备效率。一种新的被称为ＯＥＥ（设备综合效率）的评估方式，为芯片制造者和设备供应者提供了进一步理解和改进生产率的极好方法。 相似文献
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二维扫描成像系统中消像旋的电子学方法 总被引：4，自引：0，他引：4
1 引言 通过对光学消像旋方法的讨论可以知道,虽然光学方法消像旋计算速度快,但系统体积大,增加功耗,造成信噪比下降。对于类似于K镜消旋的系统,要求扫描镜与消旋镜的驱动角度精确配准,消旋镜的驱动的角精度要求高于1/3个像元。而且,运动器件的空间可靠性差。与此对比,图像的电子消旋则具有以下的优点:(1)旋转后的图像和原图像的转换关系 相似文献
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聚焦对投影光刻系统（如步进机）的影响是了解及控制光刻工艺的关键因素。随着特征尺寸的减小，它对聚焦误差的灵敏度迅速升高。因此，许多人认为聚焦灵敏度是光学光刻进入更小特征尺寸的主要障碍。本文将对焦深的定义作以定量的分析 相似文献
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甲壳型液晶高分子的发展很大程度上依赖于聚合物自组装的发展,而各种可设计、可预测、可调控的自组装策略的涌现,将甲壳型液晶高分子研究推向前所未有的高度,同时也极大地丰富了高分子化学与物理的内容,提升了研究水准.研究表明,侧链"甲壳效应"在调控甲壳型液晶高分子有序结构等方面有着重要作用.本综述从甲壳型液晶高分子设计合成、液晶相态调控、嵌段共聚物自组装和功能化应用等方面,总结和评述了近年来该领域国内的最新研究进展.最后,本综述总结了甲壳型液晶高分子在发展中所面临的主要问题,并对其发展趋势进行了展望. 相似文献
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针对不同温度场情况下任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的温度敏感性精
确计算问题,首先将温度场以热应力、热应变的方式耦合声/电本征方程并考虑封装模型的电磁因素,再结合分层
级联算法和全波仿真技术,计算任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的SAW 滤波器的温度敏感性,实现不同温度作
用下SAW 滤波器频率响应曲线、频率温度系数(TCF)值、损耗、带宽及带外抑制等性能的综合分析。通过41°Y-X
LiNbO3/SiO2/Si_poly/Si(111)复合衬底SAW 滤波器的优化设计与研制,其设计优化结果与实验结果吻合较好,
验证了该方法的有效性和可行性。 相似文献
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本文探讨了计算机系统冗余备份的工作原理和实现方法，介绍了一种实用的双机热备份切换、控制系统和其切换、控制单元的组成和工作原理。 相似文献
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利用毕赤酵母研究真核细胞对不同的原核细菌可溶性蛋白抗原的差异性表达。用PCR技术扩增3种不同的结核杆菌抗原基因Ag85a、ESAT6、以及rdESAT6和1种肺炎链球菌抗原基因PsaA。将它们分别连接到pPic9k载体中,在毕赤酵母中进行表达。然后采用离子交换柱或镍柱(Ni-NTA)分别纯化这4 相似文献
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