应用电子辐照技术控制功率开关晶体管少子寿命的研究

本文以高压大功率开关晶体管的电子辐照实验为基础,探讨了辐照对器件少子寿命、直流电流放大系数、饱和压降、开关时间的影响.研究结果表明:精确控制电子注量可以精确控制少子寿命,并且,适当注量的辐照可以兼顾晶体管的各电参数,从而简化了设计工作,并使器件开关特性得到显著的改善.     

电子辐照技术在高压大功率开关晶体管制造工艺中的应用

在高压大功率开关晶体管制造工艺中,如何才能精确地控制少数载流子寿命,这是器件工作者长期以来不断摸索、探讨的一个课题.其原因就在于半导体器件本质上是利用少子扩散运动的器件.少子寿命是器件最重要的特征参数之一.晶体管的许多电气参数诸如h_(FE)、V_(cos)、t_(on)、t_(off)等均与少子寿命有着非常密切的关系.可以说没有掌握少子寿命控制技术,就不能协调好功率开关管诸电参数,就不可能制造出高水平的开关晶体管.因此,少子寿命控