排序方式: 共有4条查询结果,搜索用时 156 毫秒
1
1.
2.
采用柠檬酸作为pH调节剂和分散剂,针对CeO2磨料水溶液的分散性差以及浅沟槽隔离(STI)化学机械抛光(CMP)过程中正硅酸乙酯(TEOS)/氮化硅(Si3N4)的去除速率选择性难以控制的问题进行了研究。分散实验结果表明,由于柠檬酸可以结合在CeO2颗粒表面从而极大提高了CeO2磨料的空间位阻,CeO2溶液的分散稳定性得到提升,因此,与酒石酸、硝酸和磷酸相比,在CeO2溶液中使用柠檬酸作为pH调节剂,可以使CeO2磨料具有更小的粒径和较低的分散度以及使CeO2溶液具有较高绝对值的Zeta电位。抛光实验结果表明,柠檬酸可以极大抑制Si3N4的去除速率,且对TEOS的去除速率影响较小,因此,使用柠檬酸作为pH调节剂和分散剂能实现TEOS/Si3N4的高去除速率选择比。同时抛光后TEOS和Si3N4薄膜具有良好的表面形貌和低的表面粗糙度。 相似文献
3.
4.
本文通过将引文推荐问题转化为文献是否被引用的二元分类问题,发掘出影响文献被引用的关键特征,并依据这些特征提升了引文推荐的性能.在提取研究者的个性化引用偏好和常用的文献计量学特征的基础上,加入表征文献活跃度的特征指标,构建用以进行二元分类的特征库.利用Relief-F、RFE和LR3种方法从特征库中筛选出对文献是否被引具有重要价值的特征;利用朴素贝叶斯、SVM和Bagging3种分类器验证基于这些重要特征的引文推荐效果.实验结果表明,文献的活跃度特征、研究者的个性化引用偏好特征和文献对之间的主题相似性特征是提升引文推荐性能的关键因素.相对于基线方法,在这些关键特征上实施引文推荐,其准确率、召回率和Fl值分别提升了 6%、29%和26%. 相似文献
1