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为避免传统的探针检测对硅通孔(TSV)造成损伤的风险,提出了一种非损伤的TSV测试方法.用TSV作为负载,通过环形振荡器测量振荡周期.TSV缺陷造成电阻电容参数的变化,导致振荡周期的变化.通过测量这些变化可以检测TSV故障,同时对TSV故障的不同位置引起的周期变化进行了研究与分析,利用最小二乘法拟合出通过周期来判断故障位置的曲线,同时提出预测模型推断故障电阻范围.测试结构是基于45 nm PTM COMS工艺的HSPICE进行设计与模拟,模拟结果表明,与同类方法相比,此方法在测试分辨故障的基础上对TSV不同位置的故障进行分析和判断,并能推断故障电阻范围. 相似文献
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多攻击线引起的串扰时延故障的TPG 总被引:1,自引:1,他引:0
探讨了一种串扰时延最大化算法,并且利用被修改的FAN算法,生成测试矢量.对于一条敏化通路,利用被修改的FAN算法适当地激活相应的攻击线和受害线,使电路在最恶劣情况下引起最大通路时延,从而实现更有效的时延测试.利用了FAN算法的多路回退和回溯等主要特色,提高了测试生成算法的效率.实验结果表明,沿着任何临界通路传播的受害线相耦合的攻击线被适当地激活,并且可以对一定规模的电路的串扰时延故障进行测试矢量生成. 相似文献
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信号完整性在某种程度上已经成为了限制当前高速电子系统设计与发展的瓶颈.建立了由过孔、焊点、印制线构成的高速电路板复杂互连结构单元模型,在1 ~ 10 GHz频率范围内针对模型进行信号传输性能的研究.用高频结构仿真器(HFSS)针对不连续区域内印制线不同长度、焊盘不同半径进行仿真分析,总结这些参数对信号传输性能的影响,提出了复杂互连结构的等效电路模型,并提取参数值进行对比验证.结果表明,随着印制线长度的增加、焊盘半径的增加,信号传输的回波损耗(RL)越来越强.用先进设计系统(ADS)软件对等效电路进行模拟,其回波损耗在1~6 GHz频率范围内与HFSS仿真结果相差不超过1 dB,在6~10 GHz频率范围内相差不超过2 dB. 相似文献
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传统的探针测试会对晶圆产生较大的接触应力,从而给晶圆带来物理性损伤.提出一种基于串扰耦合理论的非接触探头结构,来实现对硅通孔(TSV)裂纹故障的非接触测试.首先在HFSS三维电磁仿真软件中建立非接触探头结构,通过仿真分析可知,探头与TSV之间形成较强的电场,可以实现对TSV裂纹故障非接触测试的目的.然后建立非接触探头与TSV GS结构的等效电路,并通过相关的解析方程提取其元件参数.通过分析TSV裂纹故障的生长规律,对TSV裂纹故障建立等效电路,并建立基于物理参数的故障解析方程及提取RC元件参数.在ADS软件中进行等效电路仿真,通过观察输出电压峰值的变化,可以得出TSV裂纹故障的大小.实验结果表明,该方法可以实现对TSV裂纹故障大小的测试. 相似文献
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