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辉光等离子体辅助化学气相沉积低温合成金刚石薄膜的研究 总被引:5,自引:0,他引:5
采用辉光放电等离子体增强化学气相沉积 (GP CVD)技术在低温条件下合成了高品质的亚微米金刚石薄膜 ,并通过对合成过程的实时发射光谱诊断确定了 [CH4 H2 ]系统参与金刚石合成反应的主要荷能粒子。对合成过程的研究表明 :采用这种技术能使电子增强热丝化学气相沉积 (EACVD)合成高品质金刚石薄膜的温度从 85 0℃降至 (340± 5 )℃ ;薄膜低温合成中的主要荷能粒子为CH3 、CH ,CH+ 、H 等 ,其中过饱和原子氢保证了高品质金刚石薄膜的合成 ;根据光诊断和探针测量的结果推断近表面辉光放电可在基片表面形成电偶极层 ,该偶极层是进行超常态反应的必要环境 ,并在低温合成中起重要作用 相似文献
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本文针对线性和非线性混合滤波技术的不足,提出了一种基于改进型D-S证据理论的融合滤波算法.本算法首先分析了基本D-S证据理论组合准则缺陷的产生原因,从而采取消去证据间相关性、自适应地分配矛盾信息给与冲突有关的焦元等措施,改进了基本D-S证据理论的组合准则,提高了其融合性能.在此基础上,本算法又根据混合滤波器单源判别边界点误报风险大、可靠性和容错性差的弊端,增加了多子源判决准则,利用改进了的D-S证据理论的组合准则,实施融合判决.后续实验证明了本算法的有效性,为图像滤波的技术发展提供了一个新的探索途径. 相似文献
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The axial emitted bremsstrahlung spectra were measured on SECRAL(Superconducting ECR ion source with Advanced design in Lanzhou)using an HPGe detector.The spectral temperature T_(spe) was obtained from the linear fit of the spectra in the semi-log present.The evolution of T_(spe) with microwave power and magnetic field configuration is investigated in this paper. 相似文献
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独立维修两部件并联系统可靠性的进一步分析 总被引:2,自引:0,他引:2
本文考虑了具有独立维修规则的两个不同型部件并联系统的可靠性问题,在一个部件的寿命为指数分布,维修分布为Erlaug分布,另一个部件的寿命和维修分布均为一般连续型分布的条件下,我们得到了并系统的主要可靠性指标。 相似文献
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采用蒙特卡罗方法,对源料气体为CH4/H2混合气的电子助进化学气相沉积(EACVD)中 的氢原子(H)、碳原子(C)以及CH基团的发射过程进行了模拟.研究了CH4浓度、反应室气压 和衬底偏压等工艺参数对发射光谱及成膜的影响.研究发现,CH基团可能是有利于金刚石薄 膜生长的活性基团,而碳原子不是;偏压的升高可提高电子平均温度及衬底表面附近氢原子 的相对浓度;通过氢原子谱线可测定电子平均温度并找到最佳成膜实验条件.该结果对EACVD 生长金刚石薄膜过程中实时监测电子平均温度,有效控制工艺条件,生长出高质量的金刚石 薄膜具有重要的意义.
关键词:
蒙特卡罗模拟
金刚石薄膜
发射光谱 相似文献
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The objective stress rate is a rather important problem in mechanics of finitedeformation.In this paper,the objective stress rate in co-moving coordinate is derived byapplying nonlinear geometric field theory of deformation.Problems.such ax largeextension coupled with rotation,and large shear deformation,are exemplified by using thenew formula.Comparing with Jaumann’s stress rate and other formulae presented incurrent literature,the new result appears to be the reasonable one in co-moving coordinatesystem. 相似文献
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基于导频辅助的无循环前缀SFBC-OFDM系统 总被引:1,自引:0,他引:1
设计了一种基于导频辅助的无循环前缀空频分组编码-OFDM系统(Non-CP SFBC-OFDM).区别于传统的循环前缀空时分组编码-OFDM系统(CP STBC-OFDM),新系统发射端将块状导频序列和由空频分组编码构成的OFDM符号交替排布发射,并且每个OFDM符号前不再附加循环前缀,而接收端针对这一新的数据发射结构设计出一种基于干扰抵消的信号检测和信道估计联合递归算法.理论推导和仿真结果表明:相对于应用最小平方(LS)、迭代最小平方(iterative LS)的信道估计算法的循环前缀STBC-OFDM系统,引入联合递归算法的新系统可以得到更高的信息数据传输效率和更低的系统误比特率. 相似文献