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介绍了基于梳状、梁式、圆盘三种结构的射频微机电系统( RF-MEMS)谐振器及滤波器,并对RF-MEMS谐振器及滤波器的结构与性能参数进行讨论;分析RF-MEMS谐振器及滤波器设计和制造中的有关问题及其处理方法;RF-MEMS谐振器及滤波器性能优异,能与其他器件实现片上集成,且与集成电路工艺兼容,在射频无线通信系统中的...  相似文献   
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