半导体器件工艺中热电偶可靠性测温

本文介绍了半导体器件工艺中利用热电偶测温的原理、性能以及如何对热电偶误差进行修正补偿。     

短距离中温差电热透明炉的研制

本文介绍一种具有特殊结构的电热透明炉。该炉有两个恒温区(800℃～700℃),过渡区为12cm。