刀体破损检测技术在划片机中的应用

介绍了应用于半导体全自动晶圆划切设备中的刀体破损检测方法,在理论分析与计算的基础上制定检测方案,通过大量数据分析与处理,设计出抗干扰性强的数字滤波器,降低了系统误报率,提高了设备稳定性,保证了划切质量。     

划片机运动性能对划切工艺的影响

通过对砂轮划片机的架构和工作原理研究,分析了X电机速度震动对崩边的影响,Y电机的比例、积分、微分调节对切割位置的影响,阐述了Z轴向电机测高的机理以及对整机的影响。结合工艺划切验证,减小了不良运动特性,减少了设备可能存在的隐患,改善设备的划切效果。