首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
文章检索
  按 检索   检索词:      
出版年份:从到   被引次数:从到   他引次数:从到 提示：输入*表示无穷大
全文获取类型
  免费   1篇
专业分类
无线电   1篇
出版年
  2003年   1篇
排序方式： 共有1条查询结果，搜索用时 421 毫秒
1
1.
MOVPE生产用高纯水中硅的去除   总被引：2，自引：1，他引：1       下载免费PDF全文
本文介绍了硅对砷化镓材料生长及有机金属化合物气相淀积(MOVPE)工艺中的影响和电脱盐(EDI)技术以及用EDI降低高纯水中硅浓度的机理和方法,通过大量实验比较不同制水设备脱硅效果,得出用EDI技术严格控制pH(8~11)时脱硅效果最好,能使高纯水中Si的浓度＜0.5μg/L,满足了MO源生产及MOVPE工艺用水中Si浓度<3μg/L的需要.  相似文献   
1
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号