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1
1.
射频磁控溅射ZnO薄膜的微结构与光学特性
总被引:1,自引:0,他引:1
黄飞
孙仲亮
孟凡明
孙兆奇
《真空电子技术》
2008,(2):1-4
研究了膜厚对ZnO薄膜微结构和光学性能的影响。采用射频磁控溅射法在单晶硅(111)和玻璃基片上制备了不同厚度的ZnO薄膜。通过X射线衍射、原子力显微镜和紫外可见光谱对薄膜进行了表征。结果表明薄膜结晶性能良好,在(002)晶面具有明显的c轴取向。随着薄膜厚度的增加,透射率下降,吸收边红移,禁带宽度逐渐减小。
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