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无线电
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共有1条查询结果,搜索用时 62 毫秒
1
1.
基于透射光谱的类金刚石膜光学参数反演
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王贵全
张锦荣
邵毅
郑万祥
唐莹娟
胡中
姜兴平
李彦生
李伟
王乔方
字正华
《红外技术》
2021,43(5):473-477
本文采用透射光谱法测量Ge基底类金刚石薄膜(Diamond-like carbon,DLC)的光谱曲线.应用测量的光谱曲线,基于模拟退火算法,构建目标优化函数,通过光谱反演法得到薄膜的厚度、折射率、消光系数.该方法得到的Ge基底类金刚石膜的光学参数与椭偏仪测试结果比对,折射率误差小于1%,厚度误差小于2%.并且将薄膜的...
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