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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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本文探讨了系统级简化形式的电磁兼容性预测分析方法,该方法对于只有几对发-收干扰对的系统EMI的预测分析简洁有效,它避免了大系统间繁复的建模与大量的数据采集及其计算工作,从而对于只考虑其结果的系统间的EMC预测分析提高了效率。 相似文献
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通过电子工程师在调试地面卫星接收天线时的实际场景,对同步卫星的轨道形状、信号参数作形象直观的描述和分析,以期使读者对同步卫星有一个整体的形象化的了解。同时,对应用过程中所遇到的一些容易疏忽的问题作分析,提出解决的办法和建议。 相似文献
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本文介绍了一种内置式卫星电视接收机,提出了一种自适应遥控接收方法,其特点是充分利用原电视机的遥控系统和屏显系统,系统构造方便,简单,可用于各种型号电视机。文中给出了系统详细实现原理。 相似文献