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铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向.
关键词:
电迁移
铝互连
微结构 相似文献
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随着信息产业的飞速发展,高频信号设备,如高速计算机、移动电话、卫星通信等,都已从兆赫频段扩展到千兆赫,这就意味着对它们所用的微波电路基板提出了更高的要求.长期以来,高频微波基板几乎没有越出使用聚四氟乙烯的老传统,但是,它有若干缺点玻璃化温度低,故刚性差;加工复杂,故成本高;金属化孔镀层与孔壁的结合力弱,故可靠性不高. 多年来,美国GIL科技公司一直在研制替代聚四氟乙烯的材料,经过姐妹公司的合作,终于研制成功了TPA板材,这种材料克服了上述缺点,从而获得了美国专利.本文介绍了TPA层压板的电气特性、机械特性和热效应,给出了许多宝贵数据. 相似文献
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研究了束缚在梯子形光晶格中的中性原子与高精度腔耦合的系统,发现由超辐射引起的准周期调制可以导致迁移率边和重返局域化现象的出现.在平均场近似下,超辐射现象可以引起两种不同频率的准周期调制,它们可以由腔场和泵浦场有效调节.在本文的观测范围内,当高频调制强度小于某一临界值时,系统随着低频调制强度的增加经历一次局域转变.通过数值求解分形维度、密度分布、平均参与率、平均逆参与率以及标度分析,证明了局域转变历经的临界相区存在迁移率边;当高频调制强度大于临界值时,随着低频调制强度的增强,系统依次经历完全扩展相-临界相-完全局域相-临界相-完全局域相,这是一个典型的重返局域化现象.最后给出了局域化相图.该研究结果为超辐射相变和重返局域化现象的研究建立了联系,也为重返局域化的研究搭建了新的平台. 相似文献
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一种监测钢筋腐蚀的光纤光栅传感器的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
钢筋腐蚀是导致钢筋混凝土结构耐久性劣化的最重要因素之一。钢筋腐蚀将导致钢筋体积大大增加,混凝土保护层开裂、剥落,结构承载力下降,甚至倒塌。基于光纤布拉格光栅应变传感器的原理,根据钢筋腐蚀体积膨胀,提出了一种新的钢筋腐蚀光纤光栅传感器及温度补偿方法。传感器构造是在两根紧靠的钢筋中心附近粘贴光纤光栅,由于钢筋腐蚀体积膨胀,钢筋直径增加将转变成布拉格光纤光栅的应变,从而实现对钢筋腐蚀程度及速率的监测。传感器的监测原理是设置一个钢筋腐蚀光纤光栅传感器来监测由于钢筋腐蚀和温度变化引起的光栅应变,同时单独设置一个不锈钢光纤光栅传感器来测量温度引起的光栅应变。这两个光纤光栅传感器的应变监测,可分离出钢筋由于腐蚀所引起的体积变化。在混凝土结构中埋入封装的传感器,通过监测光纤光栅波长的漂移可以直接测量钢筋腐蚀程度,而且不受腐蚀因素的影响,可用于混凝土结构中钢筋腐蚀的早期监测。最后通过实验标定了钢筋腐蚀率与光栅波长位移的关系。 相似文献
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电子计算机解析高聚物X射线衍射图谱是把实际存在而相互重叠的峰分解出来,然后进行定性定量分析,同时还可测定一些结构参数。我们建立了包括12个过程的电子计算机程序,对不同结构的聚乙烯、聚丙烯X射线衍射图谱进行解析。 相似文献
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四川产业结构与就业结构变动关系的实证研究 总被引:2,自引:0,他引:2
四川省是农业人口大省,而在西部十二省中四川的经济发展水平处于前列。因此,对四川省产业结构和就业结构的研究对西部乃至全国经济的发展有着重要的意义。为了使四川省产业结构和就业结构之间的关系更加明确,本文运用Granger因果关系检验得出,四川省产业结构变动是引起就业结构变动的原因。在此基础上利用Johansen协整关系检验、线性回归等方法测算出产业结构对就业结构影响程度、做出各产业对就业贡献率的折线图并分析了产业结构与就业结构的偏离度。最后得出结论:第一产业产值的增长不仅无法拉动就业而且对业已存在的剩余劳动力还具有一定的挤出效应,第三产业具有较大的发展空间和吸纳就业的能力,第二产业次之。 相似文献
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对图着色问题的最大最小蚁群算法进行了改进,测试结果表明算法有效可行.在此基础上,分别设计了求解图条件着色和标号问题的相应蚁群优化算法,并对中国地图的条件着色、三正则图的条件着色、广义Petersen图的条件着色和标号问题进行了求解优化,改进和完善了目前理论研究的结论. 相似文献