部分相干高斯光通过扩束系统的衍射分析

采用高斯谢尔Gaussian-Sehell模型(GSM)来描述部分相干的准分子激光柬,利用柯林斯(Collins)衍射积分公式和Matlab对部分相干高斯光通过扩束系统的衍射性质进行模拟分析.结果表明,出射激光束随着空间相干参数β的变大,出现亮暗相问环状光束的数目增多,且衍射峰值明显增加.表明空间相干参数对于设计扩束系统及其相关光学系统的重要性.     

准分子激光线宽对光刻性能的影响

描述了激光线宽对光刻过程的影响模型建立过程中所使用的方法.成像透镜产生的色差结合实际激光光谱可以把激光线宽的影响包括在光刻模拟的模型中,使用PROLITH软件模拟了线宽对空间像的临界尺寸、焦深、曝光宽容度的影响,孤立线和半孤立线条尺寸在240nm到140nm的范围内完成研究.实验结果表明,光刻过程中增加激光线宽使空间成像质量变差,较大的线宽也导致了曝光宽容度的损失.