MEMS热式风速风向传感器输出性能优化研究

环境测温二极管在工作时受传感器芯片热场影响,常引发MEMS热式风速风向传感器加热电压-风速曲线异常。将其更换为外置测温二极管,并调整其与传感器芯片距离,成功解决了输出曲线异常现象。并在此基础上,优化芯片及外置测温二极管的封装方案,消除了热场的相互干扰和不必要的热损耗,同时保证了外置测温二极管与空气的良好接触。风场测试结果表明,传感器的加热电压-风速曲线变得平滑,且重复性好,风速和风向的测量误差分别在±4%和±4°以内,系统的上电稳定时间大幅缩短至15 s左右。     

武汉大学化学系

武汉大学创建于1913年,始名武昌高等师范,后改为国立武昌师范大学、武昌大学、武昌中山大学;1928年定为国立武汉大学,至今延用武汉大学校名。武昌高师时期,设有数学理化部,陈鼎铭教授等开设了化学课程,当时毕业生就有从事化学教育工作的。