离子注入半绝缘GaAs电激活效率与电激活均匀性的研究

研究了Ｓｉ＾＋和Ｓｉ＾＋／Ａｓ＾＋注入到Ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ Ｂｒｉｄｇｍａｎ（ＨＢ）和Ｌｉｑｕｉｄ Ｅｎｃａｐｓｕｌａｔｅｄ Ｃｚｏｃｈｒａｌｓｋｉ（ＬＥＣ）方法制备的半绝缘ＧａＡｓ衬底电激活效率与均匀性。结果发现：在相同条件下（注入与退火）,不同生长方法的半绝缘ＧａＡｓ衬底电激活不同,通常电激活ＨＢ〉ＬＥＣ,ＨＢ ＳＩ－－ＧａＡｓ（Ｃｒ）（１００）Ａ面〉（１００）Ｂ面,Ｓｉ＾＋／Ａｓ＾＋双离子     

用离子注入技术研究轴承钢对铍青铜的磨损性能的影响

用三种能量的 N~+离子重叠注入和用N~+离子反冲注入两种方式研究了注入对轴承钢—铍青铜磨损性能的影响。磨损试验是用未注入的Q Be Z 铍青铜针在注入的 G Crlo 轴承钢样片上滑动。反冲注入的钢片上镀有 Cr 膜,这种注入方式使摩擦付双方的耐磨性能都得到了明显改善。重叠注入对铍青铜的耐磨性改善明显,而轴承钢是否改善有待探论。注入减少了粘着磨损。在注入层内观察到的氮化物、Cr_2O_3及表面 C 污染形成的石墨态对改性都可能有利。