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为了满足微米量级印刷电路板(PCB)光刻的需求,提出了一种新型PCB数字光刻投影成像技术。利用ZEMAX光学设计软件设计并优化了双高斯结构型光刻投影物镜。该物镜具有双远心结构,可以避免数字微反射镜(DMD)偏转产生离焦,分辨率可达13.68 mm,数值孔径NA=0.045,焦深为200 mm,严格控制像面畸变量小于0.03%。采用DMD多光束倾斜扫描技术,将DMD旋转一定的角度,利用曝光点的位置与光斑重叠积分能量的多少,形成更小的像素尺寸,提高了网格精度。基于该投影成像技术进行了光刻实验,实验结果证实了该投影成像技术的可行性,通过控制网格精度既能实现整数像素以外的线宽又能提高图像的分辨率和光刻效率。 相似文献
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基于单一制造商和单一零售商构成的逆向供应链系统,应用博弈理论和模糊理论对逆向供应链的协作与定价策略进行了研究.针对回收产品价格的不确定性,将回收价格看作是三角模糊数,采用Chen与H sieh提出的梯级平均综合表示法确定模糊回收价格的解模糊值,由此,建立非合作博弈模型和合作博弈模型,并给出均衡条件下制造商和零售商各自的回收价格策略.最后,举例说明了该方法的有效性. 相似文献
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