InGaAs PIN光电探测器的暗电流特性研究

从理论上分析了In0.53Ga0.47As PIN光电探测器在不同掺杂浓度及反向偏压下的暗电流特性,并与研制的器件的实测结果进行了比较和讨论.模拟结果表明:在低偏压下,器件中的产生复合电流起主要作用,偏压增大时,隧道电流起主要作用,且In0.53Ga0.47As光吸收层的载流子浓度对器件的暗电流有很大的影响,实测器件特性与模拟结果完全符合.文中还对器件结面积和电极尺寸等对暗电流的影响进行了比较和分析.     

短波红外InGaAs／InP光伏探测器系列的研制

采用气态源分子束外延方法及应用有源区同质结构及较薄的组分渐变InxGa1-xAs缓冲层,研制了波长扩展的InGaAs/InP光伏探测器系列,其室温下的截止波长分别约为1.9μm,2.2μm.和2.5μm.对此探测器系列在较宽温度范围内的性能进行了细致表征,结果表明在室温下其R0A乘积分别为765,10.3和12.7Ωcm2,比室温降低100K时其暗电流和R0A可改善约3个量级.瞬态特性测量表明此探测器系列适合高速工作,实测响应速度已达数十ps量级.     

带耦合光栅的量子阱红外探测器研制

报导了带二维衍射光栅的 12 8元线列GaAs/AlGaAs多量子阱长波红外焦平面探测器的研究成果。探测器光吸收峰值波长λP=8.9μm ,采用垂直入射光耦合的工作模式 ,在 80K工作温度下其平均黑体电压响应率为 2 .75× 10 4 V/W ,平均黑体探测率为 2 .5 2× 10 9cmHz1/ 2 /W ;电压响应率和探测率的非均匀性分别 5 .2 %和 8.3%。 12 8元线列探测器与 6 4元CMOS读出电路对接后与光学系统、扫描系统、数据采集系统和图像显示系统等组成红外成像演示系统 ,实验室获得了清晰的人体手部热像和余热图像     

InGaAs Photodetectors Cut-off at 1.9μm Grown by Gas-Source Molecular Beam Epitaxy

Using a linear graded Inx Ga1-xAs as the buffer layer, positive-intrinsic-negative wavelength-extended In0.6 Ga0.4As photodetectors with 50% cut-off wavelength of 1.9μm at room temperature were grown by using gas-source molecular beam epitaxy, and their performance over a wide temperature range has been extensively investigated. The detectors show typical dark current at bias voltage 50mV and the resistance-area product R0A of 7nA/765Ωcm^2 and 31pA/404kΩcm^2 at 290K and 210K, respectively. The thermal activation energy of the dark current in the temperature range 250-350K is 0.488 eV.     

锗硅在HBT中的应用及全外延工艺简介

锗硅(Si1-xGex)是硅和锗通过共价键结合形成的半导体化合物,是这两种元素无限互溶的替位式固溶体。锗硅一般有非晶、多晶、单晶和超晶格四种形态,其中单晶锗硅的主要应用之一就是作为异质结双极晶