用于军事和工业系统的声表面波器件

自从制成了叉指换能器以来,声表面波器件获得了很大的进展.目前,这种器件已经广泛地用于完成复杂系统的信号处理功能方面.     

PTC热敏电阻和发热体的制作及应用

本文概括地评述了利用施主掺杂钛酸钡(BaTiO_3)半导体陶瓷中获得的PTC特性的导电机制的形成.叙述了PTC热敏电阻的几种基本特性及其应用.文章还对PTC发热体的结构、工作原理及其应用作了介绍.     

第六届国际铁电体会议

第六届国际铁电体会议(IMF-6)于1985年8月12—16日在日本神户国际会议厅召。中国、美国、西德及日本等17个国家的代表约500人参加了会议。会议分成38个专题讨论,除了特邀报告外,其余报告均在专题讨论会上进行。会议期间共收到论文529篇,这些论文将由日本应用物理学会以增刊发表。 这次会议的特点是着重讨论铁电体的应用研究,有关应用研究的论文约占总论文数的50％。     

用钛酸铅薄膜制作硅单片集成热电红外传感器

研制成能在室温下工作的集成型热电红外传感器。红外敏感元件是在硅片上射频溅射钛酸铅薄膜构成。论证和讨论了线性阵列传感器的灵敏度,交扰和调制转移函数与频率关系的一系列技术数据。采用线性阵列进行了红外成像的试验。     

微波ECR等离子体溅射法沉积ZnO薄膜

低温沉积薄膜技术在制作先进的微电子学器件和集成多功能传感器方面非常重要。最近,应用微波电子回旋共振(ECR)等离子体溅射法沉积成高性能、高沉积速率和低基片温度的ZnO薄膜。本文叙述应用微波ECR等离子体溅射法沉积ZnO膜的制法及其性能。     

声表面波器件用零温度系数基片材料

SAW器件要求具有低延时温度系数、高机电耦合系数和高传播特性的良好基片材料。迄今为止,还没有一种材料能满足上述要求,为此,人们进行了大量的努力来寻求解决。本文主要叙述具有零温度系数的LST一切石英、双旋转切LiNbO_3、63.6°Y一切LiTaO_3单晶新切型和几种层状结构基片材料的制法和性能。并列举了实验器件的特性。     

日本制成1微米线条的刻蚀系统

日本东芝公司和德田公司已经联合制成一种全自动反应型离子刻蚀系统(TRIE).这种系统能够刻蚀出线条宽度小于1微米的高精度线条.其工作原理大致如下:真空刻蚀钟罩内充     

多功能陶瓷湿度、温度传感器

日本松下电气材料研究所寺田等人研制成一种Humiceram-Ⅱ型多功能的陶瓷温度和湿度传感器.这种多功能陶瓷传感器是通过研制成功钛酸钡-钛酸锶系(BaTiO_3-SrTiO_3)多孔质介电陶瓷而实现的.这种传感器是基于介电常数随着温度变化而改变和通入气孔中的水蒸汽的吸附所产生的阻抗变化、采用单一元件能够同时迅速地检测温度和湿度.