基于WSN的高速公路监控系统智能化研究

相比于现有交通系统所采用的视频监控等技术,无线传感器网络具有自组织、低成本、低能耗和易部署等优势,将无线传感器网络技术应用于智能交通是近年来研究的热点。提出了基于无线传感器网络技术的高速公路监控系统智能化设计方案,探讨分析了系统构成及工作过程,研究了系统设计中的关键问题并给出了相应的初步解决方法。基于传感器网络的智能监控系统可实现对高速公路全面、实时和不间断监控。     

基于状态空间法的MEMS静电驱动控制方案

采用状态空间分析法,研究MEMS静电驱动平行板结构的运动特性,实现了平行板机械子系统和静电子系统状态空间矩阵参数分离,制定了状态反馈控制方案以改善平行板系统的运动特性,在Simulink仿真平台上完成了控制方案的计算机仿真实验。结果表明,状态反馈控制方案能较好地提高系统的操作精度并改善瞬时特性。     

低能电子束照射集成电路芯片时的静态电容衬度分析

在研究低能电子束照射绝缘物时在二次电子返回特性的基础上,通过绝缘物表面照射微区和衬底之间的有效电容,获得了表面电位和二次电子信号电流在表面电荷积累过渡过程中随照射条件的变化关系,建立了电子束照射覆盖有绝缘膜的IC芯片时形成静态电容衬度的理论模型.从理论上分析了电子束照射条件和芯片内部形貌、材料参数对静态电容衬度的影响,解释了在扫描电镜实验中的最大衬度现象及其对应的最佳电子照射条件.     

基于WSN的高速公路监控系统智能化研究

相比于现有交通系统所采用的视频监控等技术，无线传感器网络具有自组织、低成本、低能耗和易部署等优势，将无线传感器网络技术应用于智能交通是近年来研究的热点。提出了基于无线传感器网络技术的高速公路监控系统智能化设计方案，探讨分析了系统构成及工作过程，研究了系统设计中的关键问题并给出了相应的初步解决方法。基于传感器网络的智能监控系统可实现对高速公路全面、实时和不间断监控。     

绝缘膜负带电时的表面局部电场与二次电子返回特性

为分析IC多层版图扫描电镜(SEM)对准检测所利用的负带电成像原理,采用Mott弹性散射截面和修正的Bethe非弹性碰撞公式,对点照射入射电子在绝缘膜中的散射过程进行了Monte Carlo模拟,得到负带电绝缘物表面的局部电位分布.在此基础上计算了二次电子从表面出射后在局部场作用下的运动轨迹,获得了SEM像的二次电子信号电流.结果表明,在弱负带电条件下,照射点处表面电位越低,返回表面的二次电子就越多,对应的二次电子信号电流越弱.此结果与SEM实验中图像亮度随照射时间的变化规律相符     

绝缘膜负带电时的表面局部电场与二次电子返回特性

为分析IC多层版图扫描电镜(SEM)对准检测所利用的负带电成像原理,采用Mott弹性散射截面和修正的Bethe非弹性碰撞公式,对点照射入射电子在绝缘膜中的散射过程进行了Monte Carlo模拟,得到负带电绝缘物表面的局部电位分布.在此基础上计算了二次电子从表面出射后在局部场作用下的运动轨迹,获得了SEM像的二次电子信号电流.结果表明,在弱负带电条件下,照射点处表面电位越低,返回表面的二次电子就越多,对应的二次电子信号电流越弱.此结果与SEM实验中图像亮度随照射时间的变化规律相符.     

低能电子束照射集成电路芯片时的静态电容衬度分析

在研究低能电子束照射绝缘物时在二次电子返回特性的基础上,通过绝缘物表面照射微区和衬底之间的有效电容,获得了表面电位和二次电子信号电流在表面电荷积累过渡过程中随照射条件的变化关系,建立了电子束照射覆盖有绝缘膜的IC芯片时形成静态电容衬度的理论模型.从理论上分析了电子束照射条件和芯片内部形貌、材料参数对静态电容衬度的影响,解释了在扫描电镜实验中的最大衬度现象及其对应的最佳电子照射条件.     

基于状态空间法的MEMS静电驱动控制方案

采用状态空间分析法，研究MEMS静电驱动平行板结构的运动特性，实现了平行板机械子系统和静电子系统状态空间矩阵参数分离，制定了状态反馈控制方案以改善平行板系统的运动特性，在Simulink仿真平台上完成了控制方案的计算机仿真实验。结果表明，状态反馈控制方案能较好地提高系统的操作精度并改善瞬时特性。     

三层平板静电驱动MEMS微镜

驱动电压过高是MEMS微镜需要解决的重点问题。根据平板静电驱动器原理,设计了一种新型三层电极平板结构的静电驱动MEMS微镜,分析了此微镜系统的静态特性和动态特性。此微镜系统的设计驱动电压为6.3V,动态响应时间达到1.2ms。     

一种新型3D微镜结构的静电驱动电压特性分析

介绍了一种新型3D静电驱动微镜结构,对结构的下电极形状进行了改进,分析和比较了它们的几何参数与驱动电压之间的关系。通过理论分析表明,在其他几何参数一致的情况下,方形下电极单极板微镜结构的驱动电压比1/4圆形下电极单极板微镜结构的驱动电压小。