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洁净室设备内环境是产品最近的环境,设备内洁净度直接影响产品品质,随着现在科学技术的高速发展,对生产设备内部环境洁净度要求越来越高.通过薄膜晶体管液晶显示模块(TFT-LCD)生产线设备内环境洁净度的提升,得到了非常重要的一线数据,积累了很多经验.粒子(Particle)是洁净间产品品质最大的敌人,设备内环境就是产品的环境,设备内环境洁净度的改善和控制是非常重要和必要的. 相似文献
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提出了一种新型的,基于高效换热和间接蒸发冷却的全新风免疫空调系统,从理论和热力计算等方面对全新风系统和回风系统做了比较。初步研究结果表明,该新型全新风系统不但可以从根本上改善室内空气品质,而且其能量消耗水平与现有回风空调系统相接近,具有良好的研究开发前景。 相似文献
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