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离子束刻蚀位相型Ronchi光栅研究 总被引:2,自引:0,他引:2
本文报道了采用紫外光刻和离子束刻蚀方法制作位相型Ronchi光栅的工艺技术,并对其衍射特性进行了讨论,同时给出实验结果。 相似文献
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软X射线透射光栅制作技术 总被引:6,自引:0,他引:6
金透射光栅广泛用于真空紫外、X射线、物质波的衍射和光谱测量。分别介绍了美国麻省理工学院空间微结构实验室和中国科学技术大学国家同步辐射实验室的透射光栅制作技术及其新进展。麻省理工学院空间微结构实验室为完成 AXAF巨型空间天文台上的高能透射光栅谱仪经历了近 2 0年的发展 ,其光栅制作工艺日趋成熟 ,代表了当前世界最高水平。中国科学技术大学国家同步辐射实验室为了满足惯性约束核聚变实验研究的需要 ,在国内较早地开展了透射光栅的研制工作 ,在提高光栅质量的同时不断提高线密度 相似文献
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自支撑软X射线针孔透射光栅研究 总被引:1,自引:1,他引:0
本文报道了在研制聚酰亚胺衬底的软X射线透射光栅的基础上^[1],采用全息-离子束刻蚀方法和微电镀技术研制成功了无衬底自支撑的软X射线针孔透射光栅,简要地介绍了工艺过程并给出了实验结果。 相似文献
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