降低UV激光打孔机Z轴振幅的瞬态动力学有限元分析技术研究

针对UV激光打孔机Z轴系统在加减速运动过程中的振动问题,文章运用瞬态动力学有限元分析技术,建立了UV激光打孔机Z轴系统瞬态动力学有限元模型,对Z轴系统进行瞬态动力学分析。分析了Z轴系统的主要零部件(包括振镜,各反射镜以及CCD相机机座等)的振动特性。根据分析结果,对UV激光打孔机Z轴系统进行了优化和改进,很好控制了Z轴系统主要零部件在加减速运动过程中的振幅。从而提高激光打孔的精度,有效提升产品的性能。